隨著半導體技術的不斷突破，半導體產業在我國經濟中的地位日益凸顯。在這個日新月異的行業中，如何提高生產效率、降低成本，成為各大企業關注的焦點。當晶圓制程愈發復雜、生產車間數量增多時，車間轉換的儲存區域顯得尤為必要。天車（OHT）就是為了提高物料運輸效率，降低人力成本和減少污染風險而存在，在很大程度上改善了跨區搬運的不便。
01天車（OHT）簡介
OHT (空中走行式搬送車) 是Overhead Hoist Transfer的簡稱，一種能在空中軌道上行駛之自動化搬運設備，由升降裝置馬達驅動皮帶，自動抓取設置在晶圓加載機 (LPU, Load-Port Unit) 的前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，實現了晶圓在各加工區間快速穩定的搬運，且不占用潔凈室地面空間，被廣泛的使用在12寸半導體前端晶圓廠內的物料搬送，如制造過程中的在制品 (WIP, Work In Process)，不僅用于產線的機臺 (Tool)，還用于機臺和晶圓緩存器 (Buffer) 之間的傳輸作業。
組成部分：
天車搬運系統主要由以下幾個部分組成：
a. 導軌：安裝在廠房天花板上的軌道，用于吊車的移動。
b. 吊車：沿著導軌移動的起重設備，用于抓取和放置物料。
c. 載具：用于承載和保護物料（如晶圓盒）的專用容器。
d. 控制系統：負責控制吊車運動、抓取和放置物料的自動化系統。
02天車搬運系統的優勢
OHT （天車）沿直線軌道的平均速度可達 5m/s（18km/h），沿曲線軌道的平均速度可達 1m/s（3.6km/h）。
與其他自動搬運系統（如自動導引車和輸送帶）相比，OHT具有以下優勢：
a. 提高生產效率：OHT可以在短時間內將物料從一個地點移動到另一個地點，減少了物料運輸所需的時間，從而提高了生產效率。
b. 減少人工干預：OHT的自動化運作減少了人員與物料的接觸，降低了污染風險。
c. 節省空間：OHT安裝在天花板上，不占用地面空間，提高了空間利用率。
d. 降低成本：OHT的自動化運作降低了人力成本和維護成本。
e. 提高可靠性：OHT具有較高的運行穩定性和可靠性，確保了生產過程的連續性。
03天車在我國的發展前景
新興的國產AMHS廠商進入半導體領域需要經歷較長的驗證過程，隨著我國產業不斷發展，全國很多地區都在新建晶圓廠以滿足國內不斷增長的半導體需求。這些新建的晶圓廠中自動化搬運設備（AMHS）已是標配，再加上之前興建的8-12寸存量生產線自動化改造需求，未來4年內，國內晶圓廠AMHS系統平均每年的市場需求約為30-40億元。
目前，國產AMHS天車方案已在晶圓廠的測試線或局部線運行。相信隨著時間的推移，國內廠商不斷積累經驗、技術創新，以及在本地化設計、制造、服務、交期短、成本低等優勢的助力下，國內AMHS產業必將取得長足的發展。
艾斯達克
艾斯達克作為一家專業從事智慧車間整體解決方案的高科技企業。憑借多年的技術積累和行業經驗，為半導體硅片廠、芯片制造廠、芯片封裝廠等提供高效、準確的物料搬送解決方案。
OHT作為艾斯達克的核心產品，幫助企業提高生產效率，降低生產成本，提升產品良率。未來，艾斯達克將繼續致力于技術創新，為行業的智能化發展做出更大的貢獻。
圖片來自：半導體綜研
