我國的半導體產業正在飛速發展，對于空氣潔凈度的控制也日益嚴格。半導體行業對于空氣潔凈度有著極高的要求，這是因為微小的顆粒和污染物都可能對半導體器件的性能產生重大影響。今天，本文就來揭秘半導體行業空氣潔凈度的等級劃分和適用場景。

空氣潔凈度

半導體材料的無塵車間潔凈度標準主要分為多個等級，從高到低依次為：1級，10級，100級，1000級，10000級。其中，1級潔凈度標準是最高的，要求非常嚴格，而10000級潔凈度標準相對寬松一些。

等級定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。

class10000

指每立方米空氣中直徑大于或等于0.5μm的塵埃粒子不超過10000顆，大于或等于5μm的塵埃粒子不超過70顆。

萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，在醫工業中也很常用。

class1000

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數量不超過1000顆，大于或等于5μm的塵埃粒子不超過7顆。

相較于萬級潔凈度，千級潔凈度對空氣中的顆粒物控制更為嚴格。此類潔凈度通常應用于半導體工廠的關鍵生產區域，如晶圓制造、封裝測試等。

class100

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數量不超過100顆。

此外，對于微生物的要求也非常嚴格，要求完全無微生物存在。可用于醫藥工業的無菌制造工藝等。

class10

指每立方米空氣中直徑大于或等于0.1μm的塵埃粒子數量不超過350顆，大于或等于0.3μm之灰塵粒子不超過30顆，大于或等于0.5μm之灰塵粒子不超過10顆。這個級別的潔凈度通常用于半導體制造過程中的超凈生產區域，如芯片制造、納米技術等。

class1

指每立方米空氣中直徑大于等于0.5μm的塵埃粒子數量不超過1顆。無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業，對集成電路的精確要求為亞微米。目前1級的潔凈室在整個中國都非常少見。