物理接觸檢測
1. 機(jī)械微動(dòng)開關(guān)優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，成本低。
缺點(diǎn)：機(jī)械部件容易磨損，可能導(dǎo)致誤判。應(yīng)用場景：適用于需要簡單可靠解決方案的情況，但不適合需要高精度或長時(shí)間穩(wěn)定性的場合。
2. 壓力傳感器
工作原理：在loadport的承載面上分布多個(gè)壓力傳感器。當(dāng)Foup放置在上面時(shí)，會(huì)對這些傳感器施加壓力，通過檢測壓力的變化和分布模式來判斷Foup的存在。優(yōu)點(diǎn)：相比機(jī)械開關(guān)更耐用，能提供更多關(guān)于Foup狀態(tài)的信息。
缺點(diǎn)：成本較高，需要精確校準(zhǔn)。應(yīng)用場景：適合需要高精度檢測的應(yīng)用場景。
光學(xué)檢測
1. 光電傳感器工作原理：使用光電傳感器發(fā)射光束并接收反射光。Foup的存在會(huì)改變反射光的強(qiáng)度或路徑，從而被傳感器捕捉到。
優(yōu)點(diǎn)：非接觸式檢測，減少機(jī)械磨損。缺點(diǎn)：可能受環(huán)境光干擾，需要優(yōu)化設(shè)計(jì)以提高可靠性。
應(yīng)用場景：適用于對清潔度要求較高的環(huán)境。2. 視覺檢測系統(tǒng)
工作原理：通過安裝在loadport附近的攝像頭采集圖像，并利用圖像處理和機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù)分析圖像中的Foup特征。優(yōu)點(diǎn)：可以識別Foup的具體類型，提供更豐富的信息。
缺點(diǎn)：復(fù)雜度高，成本相對較高。應(yīng)用場景：適合需要高度自動(dòng)化和智能化管理的場合。
電學(xué)特性檢測
1. 電容式檢測工作原理：在loadport表面布置電容傳感器，F(xiàn)oup的存在會(huì)改變電容值。
優(yōu)點(diǎn)：無接觸檢測，響應(yīng)速度快。缺點(diǎn)：受周圍環(huán)境影響較大。
應(yīng)用場景：適用于對響應(yīng)速度有一定要求的場合。
2. 電感式檢測工作原理：通過檢測電感的變化來判斷Foup的存在。Foup中含有的金屬成分會(huì)影響電感線圈的磁場。
優(yōu)點(diǎn)：同樣為非接觸式檢測，對于金屬材質(zhì)的Foup特別有效。
缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用場景：特別適用于需要檢測金屬材質(zhì)Foup的情況。
射頻識別(RFID)
工作原理：在Foup上安裝RFID標(biāo)簽，loadport處設(shè)有RFID讀取器。當(dāng)Foup放置在loadport上時(shí)，讀取器能夠讀取標(biāo)簽上的信息，確認(rèn)Foup的存在。優(yōu)點(diǎn)：不僅可以檢測Foup的存在，還可以獲取更多相關(guān)信息，如編號、類型等。
缺點(diǎn)：成本相對較高。
應(yīng)用場景：適合需要對Foup進(jìn)行詳細(xì)管理和追蹤的場合。
產(chǎn)品介紹
i-Stock Semi-Foup Stocker，突破技術(shù)壁壘，打造行業(yè)領(lǐng)先晶圓存儲(chǔ)設(shè)備，內(nèi)部搭載雙規(guī)格機(jī)械臂可以一次存取兩種型號的晶圓盒，提高半導(dǎo)體晶圓智能倉儲(chǔ)的兼容性。庫內(nèi)庫外可拓展對接AMR/OHT上下料，便捷高效，打造智能化、可視化的半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)設(shè)備。
打通不同工藝流程與軟件信息之間的物質(zhì)流和信息流，實(shí)現(xiàn)晶圓物料在各個(gè)車間、機(jī)臺的自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)或自動(dòng)上下料，解決人工作業(yè)帶來的效率低下和產(chǎn)品不良率低的問題。賦能半導(dǎo)體晶圓庫房與存儲(chǔ)流程設(shè)備化、智慧化、無人化，提升作業(yè)效率，降低庫存，實(shí)現(xiàn)物料的最高價(jià)值，使管理標(biāo)準(zhǔn)化，從而降低企業(yè)運(yùn)作成本為己任。
設(shè)備參數(shù)
設(shè)備優(yōu)勢
一臂雙用：靈活適配不同尺寸的晶圓盒，實(shí)現(xiàn)多樣化生產(chǎn)需求。智能夾取： 結(jié)合視覺識別和運(yùn)動(dòng)規(guī)劃，確保夾取動(dòng)作的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
高效生產(chǎn)： 提升生產(chǎn)效率，減少人工操作，降低誤差率，實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)管理。精準(zhǔn)操作： 通過智能倉儲(chǔ)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)夾取和處理晶圓，提高生產(chǎn)質(zhì)量。
節(jié)約成本： 減少人力成本，降低操作誤差，提高生產(chǎn)效率，帶來長期成本節(jié)約。
