半導體晶圓倉伺服監(jiān)控
通過實時監(jiān)測、故障預警、數(shù)據(jù)記錄與分析等功能，有助于提高生產(chǎn)效率、確保晶圓品質(zhì)和設備安全。
實時了解電機的負載情況，優(yōu)化電機的使用和維護。
實時了解電機的運行狀態(tài)和位置坐標，管控電機數(shù)據(jù)信息。
實時了解機臺的電力使用情況，優(yōu)化能源管理和提高能源利用效率。
實時監(jiān)測晶圓倉內(nèi)溫濕度等環(huán)境參數(shù)，確保晶圓存儲環(huán)境的安全性。
實時了解設備的工作狀態(tài)、運行參數(shù)和故障信息，提高設備的穩(wěn)定性和效率。
