1. 什么是CDA ？

在半導(dǎo)體制造中，CDA通常被稱為Compressed Dry Air或Clean Dry air。由于大氣中含有水分，因此不能直接用于半導(dǎo)體工藝中。而CDA不含水分和油分，CDA在半導(dǎo)體Fab中主要供給氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈（purge），以及Local Scrubber助燃。半導(dǎo)體Fab使用的壓力相對(duì)一般行業(yè)稍高，常見(jiàn)在8.5bar以上。

2. CDA 的作用

CDA 在半導(dǎo)體制造中的主要用途包括以下幾個(gè)方面：

（1）設(shè)備吹掃與清潔

CDA 被用于清潔半導(dǎo)體制造設(shè)備的表面以及內(nèi)部組件，確保設(shè)備運(yùn)行環(huán)境無(wú)塵、無(wú)濕氣。

它可以吹走設(shè)備上的微小顆粒，防止這些顆粒污染晶圓或其他關(guān)鍵部件。

（2）壓力系統(tǒng)控制

CDA 可作為壓力源，為各種設(shè)備和工具提供穩(wěn)定的氣壓支持，例如真空泵、閥門(mén)等。

在一些情況下，CDA 也可以作為惰性氣體使用，保護(hù)設(shè)備免受氧化或其他化學(xué)反應(yīng)的影響。

（3）輸送其他氣體

CDA 經(jīng)常被用來(lái)輸送其他高純度工藝氣體（如氨氣、氫氣等），通過(guò)吹掃管道來(lái)保持氣體傳輸系統(tǒng)的清潔和干燥。

（4）冷卻與熱交換

在某些應(yīng)用中，CDA 可用于設(shè)備的冷卻系統(tǒng)，幫助調(diào)節(jié)溫度。

（5）應(yīng)急保護(hù)

當(dāng)發(fā)生緊急情況時(shí)，CDA 可用于吹掃或稀釋有害氣體，確保人員和設(shè)備的安全。

3. CDA 的特點(diǎn)

為了滿足半導(dǎo)體制造的高要求，CDA 必須具備以下特性：

（1）高潔凈度

CDA 必須經(jīng)過(guò)過(guò)濾處理，確保其中的顆粒物直徑小于 0.1 微米，并且?guī)缀醪缓魏坞s質(zhì)。

空氣中的水分含量必須極低，通常需要達(dá)到露點(diǎn) -40°C 或更低。

（2）干燥性

濕氣會(huì)對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程造成嚴(yán)重影響，因此 CDA 必須是干燥的，通常需要去除水分。

（3）穩(wěn)定性

CDA 應(yīng)具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，不會(huì)與設(shè)備或材料發(fā)生反應(yīng)。

（4）高壓供應(yīng)

CDA 通常以較高的壓力供應(yīng)（例如 6-8 bar），以滿足不同設(shè)備的需求。

4. CDA 的制備與輸送

CDA 的制備和輸送需要經(jīng)過(guò)以下步驟：

（1）空氣壓縮

使用空氣壓縮機(jī)將普通空氣壓縮至所需壓力。

（2）過(guò)濾與干燥

壓縮后的空氣需要經(jīng)過(guò)多級(jí)過(guò)濾器，去除灰塵、顆粒和其他雜質(zhì)。

接下來(lái)通過(guò)冷凍式干燥機(jī)或吸附式干燥機(jī)，降低空氣中的水分含量。

（3）輸送與分配

凈化后的 CDA 通過(guò)管道輸送到各個(gè)車(chē)間和設(shè)備，通常采用不銹鋼管道以保證潔凈度。

5. CDA 和其他氣體的區(qū)別